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高純?cè)噭?span style="color: rgb(51, 51, 51); font-family: arial, 宋體, sans-serif; font-size: 14px; line-height: 24px; text-indent: 28px; background-color: rgb(255, 255, 255);">的一種分類,主要是針對(duì)的是電子元件中使用的化學(xué)試劑,又稱超凈高純?cè)噭钪匾奶攸c(diǎn)就是金屬含量極低。
定義 高純?cè)噭?/span>的一種分類,主要是針對(duì)的是電子元件中使用的化學(xué)試劑,又稱超凈高純?cè)噭?,最重要的特點(diǎn)就是金屬含量極低。
用途 用于硅片清洗,光刻,腐蝕工序,其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。
特點(diǎn) 超凈高純?cè)噭┚哂衅贩N多、用量大、技術(shù)要求高、貯存有效期短和強(qiáng)腐蝕性等特點(diǎn)。
分級(jí) 國(guó)際半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)(SemiconductorIndustryAssociation)推出Semic7(適合0.8-1.2微米工藝技術(shù))和Semic8(適合于0.2-0.6微米工藝技術(shù))級(jí)別的試劑質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。 我國(guó)在原有的MOS級(jí)和BV-1級(jí)的基礎(chǔ)上,又陸續(xù)推出BV-2,BV-3等規(guī)格
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